ARXPS 送件與分析規劃

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本文件涵蓋三個主要主題：首先，介紹ARXPS樣品及其傳送規範，包括不同材料的結構與需求；其次，探討出射角度設計及量測方法，強調多角度選擇及其對數據準確性的影響；最後，分析送件內容及數據處理，著重於關鍵元素的確定及其對應的數據分析技術。