Проектирование чистой комнаты для ВЧ-пробных измерений

Проект посвящен созданию изолированных чистых помещений для высокочастотных зондовых измерений. Основная цель включает достижение классов чистоты ISO 6 и ISO 4 для минимизации риска загрязнения и обеспечения точности зондирования. Рассматриваются геометрические параметры GSG-зондов, выбор стандартов ISO 14644-1 для контроля частиц, а также специфика зон и шлюзов для поддержания чистоты. Предусмотрены меры по снижению внешних загрязнений, контроль давления, использование стерильных спецодежд и...